通常臭氧发生器在产生臭氧的过程中，会产生热量，使机器内部的温度升高。而较高的温度会分解臭氧，促使臭氧还原成氧气，降低臭氧的发生量。所以，在生成臭氧的过程中，须对臭氧发生器进行冷却，才能稳定并提高臭氧的发生量。
臭氧发生器的冷却方式包括风冷、水冷两种。工业臭氧发生器多为中大型臭氧发生器，常用水冷方式进行冷却。
在设计和使用工业臭氧发生器的过程中，必须遵循相关规则，才能获得高产量的臭氧，才能保障臭氧发生器正常运行。
臭氧又称超氧，是氧气的同素异形体，是种无色略带臭味的气体，溶于水后就会成为一种强氧化剂，对活细胞有较强的杀灭作用。臭氧发生器可将空气中的氧气在高压、高频电的电离作用下转化为臭氧，臭氧易于分解无法储存，需现场制取现场使用（特殊的情况下可进行短时间的储存），臭氧发生器产生的臭氧气体可以直接利用，也可以通过混合装置和液体混合参与反应。臭氧发生器灭菌属溶菌的范畴，杀菌彻底迅速、高效广谱，几乎对所有病菌、霉菌、真菌及原虫、卵囊都有明显的灭活效果，并可破坏肉毒杆菌毒素。在消毒灭菌的同时，臭氧发生器可以将臭氧自行还原为氧气，没有危害残留，无二次污染，是一种环保型杀菌剂；同时，也可避免紫外线消毒能效低、化学熏蒸污染大的缺点。
1.种子处理  将臭氧气体导入清水中并不断搅拌，10min后即制得臭氧溶液。将种子倒入其中浸泡15～20min，可杀灭种子表面的病毒、病菌及虫卵
2.病虫害防治 方法是：①熏棚消毒。定植前10天可结合高温闷棚，利用臭氧发生器将臭氧集中施放于棚内，施放时间以不少于2h为宜。②防治苗床病虫。先将苗床封严，每10m²每次施放1min，并密闭熏蒸10min，然后再通风30min。③设施蔬菜定植后的病虫防治。定植缓苗后，每1亩（1亩约为0.067hm²）棚室持续施放臭氧7～10min，再密闭熏蒸15～20min，然后通风30min。无病虫的棚室每5～7天施放1次，连续施用5次，每经2 ～3次施放时间再增加5min，直到每亩每次增至25min。熏蒸时间也同样每经2～3次增加5～10min。
　　试验证明，臭氧对番茄灰霉病、叶霉病、早疫病、晚疫病，黄瓜霜霉病、疫病等以及温室白粉虱、潜叶蝇、蚜虫等病虫防治效果较好。但是，对于棚室土壤中的病虫，由于臭氧气体渗入土中的量太少，浓度也太低，所以没有作用。
 
臭氧发生器使用方法
1、将臭氧发生器放置在待消毒室以外的特定（平稳、通风散热良好）位置，检查臭氧硅胶软管与机器的臭氧输出口是否已接好，将臭氧输送管导入待消毒空间。
2、为达到最佳的臭氧消毒效果，请关闭门窗等，消毒时请勿有人员在室内。
3、接通电源，电压表显示当前电压，打开气泵开关，气泵指示灯亮，气泵开始工作。臭氧输出口有气体输出。
4、延长时间打开臭氧开关（根据当前空气温度情况而定，湿度越大，时间越长，一般1-30秒，臭氧指示灯亮，机器开始工作，（15克以上臭氧发生器需要调节浓度旋钮，对臭氧输出浓度进行调节，）臭氧硅胶软管有臭氧气体输出。
5、根据空间使用需要，将定时开关旋至与空间消毒相对应的消毒时间。（15克以上臭氧发生器无定时器，请另外配置）如不配置定时器，消毒完成后则需要人工关闭臭氧发生器。
6、达到设定的消毒时间后，消毒机将自动停止工作或者手动关闭臭氧发生器，完成作业后请将电源插头拔出。
7、臭氧在室内一般半个小时后就会自动分解为氧气，人若要长时间在室内居留时，需以闻不到浓重的臭氧异味为准。
8、消毒完成后请将臭氧发生器移至干燥通风处，以便箱内不会因为高温高温环境产生积水，对臭氧发生器产生影响。
 
臭氧发生器注意事项
1.臭氧发生器内的气体中不可含烃类、腐蚀性气体和任何其他能在氧／臭氧／电晕环境内发生反应的物质，这些物质会对臭氧发生器产生损害，且可能引发爆炸等安全事故。
2.在设计水冷臭氧发生器时，要防止大量水进入发生器内部的可能性。如果水封供气压缩机用的浮阀或空气干燥器上的凝结水阀阻塞卡住，谁都会进入臭氧发生器电晕室内，继而导致电晕集中、高电流密度和局部电介体发热，导致介电体过早失效。
3.合理控制供气压力的变化。气压会影响电晕功率诱导和跨越介电体所加电压，大范围压力变化将导致发生器运行不可靠。超出电晕功率范围，会导致熔断器或自动断电器断开。如果超出外加电压峰值，还将造成介电体过早失效。

臭氧发生器的安装要求是：①臭氧发生器的安装位置必须高于地面1.2m以上，有条件时可高于储水罐1～2m；②臭氧输送管路和单向阀必须高于储水罐1～2m；③严禁安装在狭小、潮湿环境，设备距四周应有不小于300 mm的空间，要保证发生器工作环境通风及干燥； ④使用的线路容量应符合要求，以确保消除火灾隐患；  ⑤其余安装方法要严格按照产品使用说明书的要求进行安装。